「干渉計測」と「光学計測」の違い

干渉計測は光の干渉現象を利用した高精度計測で、光学計測は光を利用した計測全般の総称です。

干渉計測

干渉計測とは、光の波動性を利用して干渉縞を生じさせ、その変化から極めて高い精度で距離や変形を計測する手法です。レーザーを用いることが多く、ナノメートル単位の微小な変位や形状を非接触で測定できます。精密工学や医療分野で活用されます。

例:レーザー干渉計測により、半導体ウェハーの表面凹凸をナノメートル単位で検出した。

光学計測

光学計測とは、光の性質(反射、屈折、散乱、吸収など)を利用してあらゆる物理量を計測する総合的な手法の総称です。カメラやセンサーを用いた寸法測定、色彩測定、温度計測、分析など、応用範囲が広く多種多様な計測が含まれます。

例:光学計測システムで製品の外形寸法と色合いを自動検査した。

両者の違い

干渉計測は光学計測の一種で、特に光の干渉現象に限定した高精度な計測手法です。使う場面では、干渉計測は極微小な変位や表面形状の計測に用いられ、光学計測はより広範な計測(寸法、色、温度など)に対応します。精度の観点から、干渉計測は超高精度(nm単位)、光学計測は中程度の精度が一般的です。

どちらを使うべき?判断のポイント

極微小な変位や微細な形状測定が必要な場合は干渉計測を選択します。一方、寸法、色、温度など一般的な物理量の計測が目的なら、より広い応用性を持つ光学計測が適切です。精度要件で判断することがポイントです。

それぞれの語をさらに詳しく

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